上海車儀田科技有限公司
2023-06-12
作者：135期 吳同學(xué)
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上海車儀田科技有限公司成立于2018年，為半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)提供光學(xué)原位檢測儀器和應(yīng)用解決方案。公司開發(fā)的終點檢測系統(tǒng)應(yīng)用于干法刻蝕、離子束刻蝕、CVD清洗、CMP和Strip去膠等工藝的終點檢測和等離子體診斷。高溫原位檢測系統(tǒng)應(yīng)用于MOCVD、HTCVD等高溫設(shè)備的非接觸式光學(xué)量測，包括溫度、反射率和翹曲的實時計算。 車儀田科技在光學(xué)、電子、軟件和工藝等專業(yè)領(lǐng)域有多年的半導(dǎo)體設(shè)備工業(yè)化應(yīng)用經(jīng)驗，解決方案基于高良率、高性能和APC先進(jìn)過程控制。在工業(yè)量產(chǎn)方面，公司產(chǎn)品致力于持續(xù)的成本降低、效率提高和質(zhì)量控制。和客戶在先進(jìn)的信號處理算法方面緊密合作，保持與國外最先進(jìn)技術(shù)同步。 公司產(chǎn)品目前出貨數(shù)百臺，主要應(yīng)用于國內(nèi)的半導(dǎo)體設(shè)備公司，和客戶機臺在Fab廠持續(xù)穩(wěn)定運行。
